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` 扩散硅压力变送器的核心部件是进口的压力传感器。其敏感元件是将P型杂质扩散到N型硅片上,形成极薄的导电P型层,焊上引线即成“扩散硅应变片",其电气性能是做成一个全动态的压阻效应惠斯登电桥。它已经和弹性元件(即其N型硅基底)结合在一起,用不着再粘贴。
介质压力通过不锈钢隔离膜片,密封硅油传到扩散硅膜片的一侧,作用在另一侧的参考压力(大气压或密封压)它们共同作用的结果使膜片的一侧压缩,另一侧拉伸,压差使电桥失衡,输出一个与压力变化对应的信号。电路部分,惠斯登电桥采用恒流供电,目的是使输出不受温度的影响,电桥的输出信号经差分归一化放大器放大,再经V/I转成电流,该电流经过非线性校正环路的补偿,即产生与压力变化成线性关系的4-20mmADC标准信号输出。 ` |
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